核心特性与升级点
旋转键合台:支持 ±90° 旋转对位,适配 TO‑CAN 引脚周向分布与 COC/COS 多面键合,换型更快、兼容性更强。
高精度与高速:继承 α‑eyes 视觉、双频超声、Step Bond Sequence,重复位置精度 3σ≤2.0 μm,键合节拍≈43 msec/wire(视线材 / 球径 / 弧线),兼顾良率与产能。
线材兼容与工艺可控:支持 Au/Cu/Ag 合金线(常用 φ18–30 μm),双频超声(如 60/150 kHz)适配不同焊盘与线材;EFO 成球稳定,适合高可靠封装。
自动化与追溯:标配 SECS/GEM,可选条码读取与 KISS 主机管理;TO‑CAN 专用搬送与上下料托盘分离,减少混料与损伤,提升稼动率。
关键参数(简表)
项目 规格 / 配置 备注
键合方式 热超声球形键合(EFO 成球) 超声 + 加热 + 压力,固态键合
键合范围 / 载台 约 56×80 mm;支持 ±90° 旋转 适配 TO‑CAN/COC/COS
精度与节拍 3σ≤2.0 μm;≈43 msec/wire 视线材、球径、弧线而定
线材支持 Au/Cu/Ag 合金线(φ18–30 μm) 匹配瓷嘴、EFO、超声参数
识别与控制 α‑eyes、Step Bond Sequence、双频超声 标配 SECS/GEM,可选条码
自动化与可选 TO‑CAN 专用搬送、上下料托盘分离;可选 KISS 管理 提升稼动率与数据化管理
工艺参数设定建议(快速起步)
线材与成球:Au 线(φ25 μm)→ EFO 功率 / 放电时间适中,球径≈2.0–2.2× 线径;Cu 线→控氧 / 惰性气氛、优化 EFO 与超声,避免氧化与球径不稳。
焊盘与基板:Al 焊盘→常规超声与温度;Cu 焊盘→控氧、适度升温、匹配超声能量;TO‑CAN 引脚→低冲击压力、分段加压、优化旋转角度。
温度与超声:一般 150–200 ℃;双频超声按需切换,低 K / 敏感焊盘选用低频、低能量,减少损伤。
旋转对位:先定位基准面,再旋转至目标角度,确保引脚与焊盘精准对齐。