与常规兆声波清洗设备相比，KAIJO楷捷QUAVA在抑制空蚀损伤上的表现更接近半导体前道工艺的实际需求。同为去除纳米级颗粒的手段，低频超声依靠空化气泡破裂产生的冲击力剥离污染物，力度大，但对细线宽图形和脆弱薄膜··· 2026-10-24
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