KAIJO楷捷超声波清洗机Quaver Megasonic Cleaning(超声波精密清洗)去除2个亚微米级颗粒。
Hymega去除半导体和液晶所需的纳米级超细颗粒:
这是一款高频清洗机,功能强大,可进行超精密清洗。可用于去除半导体晶圆、液晶、HDD等超细颗粒。高频(750 kHz、950
kHz)兆声波清洗主要以加速进行清洗。因此,气蚀很少发生。有效解决因气蚀造成的侵蚀(损坏)和驻波引起的清洁不均匀。
支持的频率:750kHz/950kHz
主要应用:
1、硅晶圆、砷化镓等的清洗;
2、清洗液晶玻璃;
3、清洁玻璃口罩;
4、清洁硬盘;
5、石英晶体的清洗;
6、薄膜磁头的清洁;
7、脆性材料的清洗等;
8、其他超精密清洗。