KAIJO楷捷QUAVA MegaTube 多频精密清洗

与槽式超声清洗相比，KAIJO楷捷QUAVA MegaTube 在适应单片式产线时少了些批量处理的限制。它把搭载超声波的清洗液从管式喷嘴直接喷射到工件表面，侧面和背面都能照射到。这套结构继承 QUAVA 系列的高频特性，针对太阳能电池、FPD 基板、HD 基板的精密清洗需求设计。

管式喷嘴的照射方式

固定式清洗槽依靠液体整体振动传递能量，工件摆放角度一变，背面和侧面就容易出现清洗不均。MegaTube 的管式喷嘴造型自由度较高，喷出的液流可覆盖工件多个朝向。清洗液在喷射过程中同时承受超声作用，到达表面时仍带空化能量。对应频率有 430kHz 和 950kHz 两档，前者适合常规颗粒去除，后者针对更细小的纳米级颗粒。频率越高，空化泡越小，对工件表面的冲击越温和。

高频下的清洗逻辑

QUAVA 系列提供 750kHz 和 950kHz 两个频段，主要面向半导体晶圆、液晶显示器、硬盘等材料中的超细颗粒去除。高频超声清洗以加速度速率进行清洁，空化现象几乎不存在。这一点直接关系到良率——空蚀引起的侵蚀会使工件表面产生微损伤，驻波则可能导致某些区域清洗异常。750kHz 以上的频段在这两个问题上表现更稳定。顺带说一句，清洗液从管式喷嘴喷出后，能量衰减比槽内传播快，喷嘴与工件的距离需要根据实际颗粒尺寸和产线速度调整。

适合单片式工艺的场合，看重的是节拍和均匀性。MegaTube 的喷射清洗不依赖工件浸没，省去了槽液更换和交叉污染的顾虑。太阳能电池、FPD 基板、HD 基板这类大尺寸薄型工件，在产线上连续通过喷淋区域即可完成清洗，管式喷嘴的排布方式可随工件形状调整。

选型时先确认颗粒尺寸区间。430kHz 覆盖常规精密清洗，950kHz 针对纳米级颗粒。产线速度较快时，适当增加喷嘴数量或降低单次喷射距离，让液流在工件表面停留时间足够。清洗液温度、流量和喷射压力需按实际污染物类型做匹配测试，不能直接照搬槽式工艺的参数。建议在量产前用单片试样跑一遍清洗效果与工件损伤的对比，确认频率和喷嘴布局后再上线。